Piezas de carburo de silicio de alto rendimiento vitales para procesos avanzados de fabricación de semiconductores

Aug 12 , 2024

 

La fabricación de semiconductores es la piedra angular del desarrollo de la ciencia y la tecnología modernas. Con la búsqueda continua por parte de la industria de circuitos integrados más pequeños, más rápidos y más eficientes, la precisión y la complejidad técnica del proceso de fabricación también están aumentando, cada paso es inseparable del alto rendimiento. Equipos semiconductores de alta calidad y precisión. Como material cerámico estructural con excelente rendimiento, el carburo de silicio (SiC) tiene las características de alta densidad, alta conductividad térmica, alta resistencia a la flexión, alto módulo elástico, fuerte resistencia a la corrosión, resistencia a altas temperaturas, etc. No es fácil producir flexión. deformación por tensión y tensión térmica, y puede adaptarse a la fuerte corrosión y al entorno de reacción de temperatura ultra alta de la epitaxia de obleas, el grabado y otros enlaces de fabricación. Por lo tanto, se ha utilizado ampliamente en procesos de fabricación de semiconductores, como esmerilado y pulido, tratamiento térmico epitaxial/oxidación/difusión, litografía, deposición, grabado e implantación de iones.

 piezas sic de alto rendimiento

La fabricación de obleas es inseparable de la oxidación, difusión, recocido, aleación y otros procesos de tratamiento térmico, y el equipo semiconductor utilizado en el proceso de tratamiento térmico tiene hornos de oxidación (que se dividen en hornos horizontales y hornos verticales), tratamiento térmico rápido (RTP, RapidThermalProcessing ) equipo. Debido a la alta temperatura de funcionamiento, los requisitos de rendimiento de los componentes en la cámara de reacción también son elevados. Las piezas de carburo de silicio sinterizado de alta pureza tienen las características de alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, alta rigidez específica, alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica, etc., y son piezas indispensables en la cámara de reacción del tratamiento térmico del circuito integrado. equipo. Incluye principalmente embarcaciones verticales , pedestales , cámaras de aire  y placas deflectoras de aislamiento térmico.

 

En la actualidad, la mayor parte de la cuota de mercado del carburo de silicio sinterizado de alta pureza para equipos semiconductores está dominada principalmente por empresas extranjeras como el Grupo Kyokera de Japón y Quastai de Estados Unidos. A través de la innovación y la acumulación tecnológica a largo plazo, no solo han desarrollado una gama completa de productos, sino que también la tecnología de procesamiento de las propiedades de los materiales, la precisión y la estructura compleja han alcanzado el nivel líder en la industria. Puede proporcionar componentes especiales para equipos centrales de circuitos integrados, como máquinas de fotolitografía, equipos de grabado por plasma, equipos de deposición de películas y equipos de implantación de iones.

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Aunque nuestro enfoque principal está en materiales cerámicos avanzados como alúmina, circonio, carburo de silicio, nitruro de silicio, nitruro de aluminio y cerámicas de cuarzo, siempre estamos explorando nuevos materiales y tecnologías. Si tiene un requisito de material específico, comuníquese con nosotros y haremos todo lo posible para satisfacer sus necesidades o encontrar socios adecuados.

Absolutamente. Nuestro equipo técnico posee un profundo conocimiento de los materiales cerámicos y una amplia experiencia en el diseño de productos. Nos complace brindarle asesoramiento sobre la selección de materiales y soporte en el diseño de productos para garantizar un rendimiento óptimo de sus productos.

No tenemos un requisito de valor mínimo fijo para el pedido. Siempre nos enfocamos en satisfacer las necesidades de nuestros clientes y nos esforzamos por brindar servicios y productos de calidad independientemente del tamaño del pedido.

Además de los productos cerámicos, también ofrecemos una gama de servicios adicionales, que incluyen, entre otros: servicios de procesamiento de cerámica personalizados según sus necesidades, utilizando piezas en bruto o piezas en bruto semiacabadas producidas por usted mismo; Si está interesado en servicios subcontratados de metalización y embalaje de cerámica, contáctenos para mayor discusión. Siempre estamos comprometidos a brindarle una solución integral para satisfacer sus diversas necesidades.

Sí, lo hacemos. No importa dónde se encuentre en el mundo, podemos garantizar la entrega segura y oportuna de su pedido.

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