1. Sustrato cerámico
Las cerámicas de alúmina, nitruro de silicio, nitruro de aluminio y carburo de silicio tienen buena conductividad térmica, alta temperatura y resistencia a la corrosión, y se pueden utilizar para producir sustratos, para componentes electrónicos y circuitos integrados;
2. Bandeja de oblea de cerámica
Las cerámicas de alúmina y carburo de silicio tienen resistencia a altas temperaturas y resistencia al desgaste; se pueden usar para producir bandeja para transportar obleas para diversos procesos, como RTA (recocido térmico rápido), PVD (vapor físico). Deposición), ICP (plasma acoplado inductivamente), CMP (pulido mecánico químico), para obtener un buen efecto de procesamiento y alta eficiencia;
3. Portabrocas de vacío de cerámica
Las cerámicas de alúmina y carburo de silicio tienen un buen acabado superficial, con una fuerte fuerza de absorción cuando se aplica el bombeo de aire, además portabrocas de vacío de cerámica tienen resistencia a altas temperaturas y se usan ampliamente para absorber y transferir obleas durante el proceso de producción. ;
4. Soporte para barco y barco de oblea
El carburo de silicio y el cuarzo tienen resistencia a altas temperaturas y buena resistencia al desgaste, además la densidad es baja y el peso es liviano, son adecuados para producir barco de oblea y soporte de bote, para transportar oblea para Tratamiento de difusión y oxidación en horno de difusión.
5. Tubo de horno de difusión
El tubo de cuarzo tiene resistencia a altas temperaturas y excelente estabilidad térmica, se puede utilizar como tubo de horno de difusión, para el proceso de difusión y oxidación de obleas semiconductoras.
