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AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck

Mandril electrostático de cerámica de nitruro de aluminio

El mandril electrostático cerámico de nitruro de aluminio (ESC, E-Chuck) es un tipo de accesorio que aplica el principio de adsorción electrostática para sostener y fijar el objeto adsorbido, que es adecuado para ambientes de vacío y plasma, la función principal es adsorber láminas delgadas (como como obleas, células solares, etc.) en el proceso de transporte y fijación, puede hacer que los objetos adsorbidos mantengan una alta planitud y eviten su deformación.

  • Marca:

    ATCERA

  • Artículo N.º:

    AT-AIN-JD1001

  • Materiales

    AlN

  • formas

    Mechanical Parts

  • Aplicaciones

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
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Aluminum nitride ceramic electrostatic chuck

Propiedades del Nitruro de aluminio Mandril electrostático

1. El mandril electrostático cerámico de nitruro de aluminio tiene un amplio rango de temperatura de trabajo, una fuerte fuerza de adsorción y se puede ajustar, lo que es adecuado para una variedad de requisitos de procesos diferentes;

2. La superficie del mandril cerámico de nitruro de aluminio es lisa y muy plana, la fuerza de adsorción es uniforme y los objetos adsorbidos pueden mantener una alta planitud y mejorar la calidad del procesamiento;

3. El mandril cerámico de nitruro de aluminio es resistente a altas temperaturas, corrosión ácida y alcalina, con buena aplicabilidad y larga vida útil.

Aluminum nitride electrostatic chuck

Aplicaciones de AlN Mandril electrostático

El mandril electrostático cerámico de nitruro de aluminio es un tipo de herramienta de fijación de adsorción que se utiliza en las industrias de semiconductores y células solares para el proceso de producción. Es uno de los componentes principales de los equipos de grabado, equipos PVD, equipos PECVD, equipos de implantación de iones, etc.

Diseño de personalización para Mandril electrostático cerámico de nitruro de aluminio

Estamos comprometidos a ofrecer mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio de primera calidad adaptados a sus especificaciones exactas. Nuestro equipo dedicado garantiza un cumplimiento meticuloso de sus instrucciones y se esfuerza por superar las expectativas del cliente. Además, ofrecemos la flexibilidad de tamaños personalizados para adaptarnos a sus requisitos únicos.

Proporcione requisitos de parámetros y dibujos.

Rugosidad de la superficie: Ra0.2

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Placa rectangular de nitruro de aluminio prensada en caliente
N.º de artículo Máx. Longitud (mm) Máx. Anchoï¼mm) Máx. Altura (mm)
AT-AIN-RY1001 ï¼500 ï¼500 ï¼350

Placa redonda de nitruro de aluminio prensado en caliente
N.º de artículo Máx. Diámetro exterior (mm) Máx. Altura (mm)
AT-AIN-RY2001 ï¼500 ï¼500

Datos técnicos de materiales de nitruro de aluminio

Tipo AlN ALN-170 ALN-200
 ALN-230
Densidad (g/cm3) 3.3 3.28 3.25
Resistencia a la flexión (MPa) 450 400 350
Módulo de Young (GPa) 320 / /
Dureza (Hv) 1100 1100
 1100
Resistencia a la fractura (MPa*m1/2) 3 2.6 2.4
Temperatura máxima de trabajo (â) 1100 1100
 1100
Conductividad térmica (W/m*K) 180 200
 230
Coeficiente de expansión térmica (/â) 4*10-6 4*10-6
 4*10-6
Constante dieléctrica (a 1MHz) 9 8.7
 8.5
Tensión de ruptura (kV/mm) >15 >15
 >15

*Esta tabla ilustra las características estándar de los materiales de nitruro de aluminio comúnmente empleados en la fabricación de nuestros productos y piezas de AlN. Tenga en cuenta que los atributos de los productos y piezas de nitruro de aluminio personalizados pueden variar según los procesos específicos involucrados. El parámetro detallado se decide por el tipo y la composición del agente estabilizante.

Información valiosa

Aluminum Nitride Ceramic Electrostatic Chuck Packing

Mandril electrostático de cerámica de nitruro de aluminio Embalaje

Los mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio se empaquetan cuidadosamente en contenedores adecuados para evitar posibles daños.

Ventajas de personalización
Ventajas de personalización

1. Según el escenario de su aplicación, analice las necesidades, elija el material y el plan de procesamiento adecuados.

2. Equipo profesional, respuesta rápida, puede proporcionar soluciones y cotizaciones dentro de las 24 horas posteriores a la confirmación de la demanda.

3. Mecanismo de cooperación empresarial flexible, admite al menos una pieza de personalización de cantidad.

4. Proporcione rápidamente muestras e informes de prueba para confirmar que el producto satisface sus necesidades.

5. Proporcione sugerencias de uso y mantenimiento del producto para reducir el costo de uso.

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Preguntas frecuentes

Aunque nuestro enfoque principal está en materiales cerámicos avanzados como alúmina, circonio, carburo de silicio, nitruro de silicio, nitruro de aluminio y cerámicas de cuarzo, siempre estamos explorando nuevos materiales y tecnologías. Si tiene un requisito de material específico, comuníquese con nosotros y haremos todo lo posible para satisfacer sus necesidades o encontrar socios adecuados.

Absolutamente. Nuestro equipo técnico posee un profundo conocimiento de los materiales cerámicos y una amplia experiencia en el diseño de productos. Nos complace brindarle asesoramiento sobre la selección de materiales y soporte en el diseño de productos para garantizar un rendimiento óptimo de sus productos.

No tenemos un requisito de valor mínimo fijo para el pedido. Siempre nos enfocamos en satisfacer las necesidades de nuestros clientes y nos esforzamos por brindar servicios y productos de calidad independientemente del tamaño del pedido.

Además de los productos cerámicos, también ofrecemos una gama de servicios adicionales, que incluyen, entre otros: servicios de procesamiento de cerámica personalizados según sus necesidades, utilizando piezas en bruto o piezas en bruto semiacabadas producidas por usted mismo; Si está interesado en servicios subcontratados de metalización y embalaje de cerámica, contáctenos para mayor discusión. Siempre estamos comprometidos a brindarle una solución integral para satisfacer sus diversas necesidades.

Sí, lo hacemos. No importa dónde se encuentre en el mundo, podemos garantizar la entrega segura y oportuna de su pedido.

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